应我院邀请，电子科技大学涂程副研究员（博导）于12月5日下午14:30在腾讯会议平台上作了题为《基于TPoS谐振器的多功能集成传感芯片技术》的专题学术讲座。我院负责人、师生代表100余人参加讲座。讲座由科研副院长王芳主持。

涂程副研究员首先介绍了TPoS谐振器技术现状，概述了TPoS谐振器的优点和微加工制备上的优势；其次，详细讲解了自己团队在基于TPoS谐振器技术实现的单片集成多功能传感芯片方面的研究工作和成果，介绍了利用TPoS谐振器技术实现的一种单片集成多功能传感芯片以及该芯片的潜在功能和设计优势；最后，对该领域的研究热点进行了分析。该讲解拓展了同学们对本学科工程应用的认知，同时也为同领域青年教师指点迷津，拓宽了研究思路和方法。

讲座结束后，与会老师和学生就讲座内容、研究热点、申博等方面进行了提问。涂程研究员对大家提出的问题均作了详细解答，现场互动环节气氛热烈，交流信息量丰富。

（文 徐世周）

专家简介：

涂程，电子科技大学集成电路科学与工程学院（示范性微电子学院）副研究员，四川省青年人才，中国电子学会高级会员，中国微米纳米技术协会高级会员，研究领域为微机电系统（MEMS），重点研究谐振式MEMS器件，包括基于硅上压电薄膜（Thin-Piezoelectric film on Slicon, TPoS）结构的高密度多参量检测传感芯片和射频声学器件。

涂程老师在电子科技大学获得学士和硕士学位，在香港城市大学获得博士学位，之后分别在美国伊利诺伊大学香槟分校和美国东北大学从事博士后研究工作，在MEMS研究领域已发表SCI期刊论文40余篇，其中第一作者发表期刊论文15篇（包括IEEE-UFFC、SNA、EDL、APL、JMEMS、JMM等领域内重要学术期刊），担任IEEE NEMS 2021国际学术会议TPC委员及分会主席，担任多个国际学术期刊审稿人，目前承担国家自然科学基金青年项目、国家重点研发计划项目、四川省重点研发计划项目、领军电子企业和科研院所技术重点合作项目共8项。